淺談特種氣體設備的布置方式

　　特種設備簡介

　　隨著半導體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，特氣設備越來越多的應用于IC芯片生產(chǎn)、鍍層、實驗室科研等項目中。很多用戶在進行特氣設備的規(guī)劃時候，受限于氣房空間、位置、需求等多方面要求而不能合理規(guī)劃布局，遇到了很多問題，為日后的產(chǎn)品使用增加了風險和擴充難度。本文就絕大多數(shù)用戶遇到的難題，結(jié)合規(guī)范做以較為標準化的布置建議。

　　特氣關(guān)鍵詞：

　　特氣設備;布置;多設備規(guī)劃。

　　特氣設備主要包括

　　1、GC 特氣氣瓶柜

　　2、GR 大宗or普通氣瓶架

　　3、Local Scrubber 本地式廢氣處理柜(電加熱+水洗復合型 可定制單功能)

　　4、VMB、VMP等各類氣體分配設備

　　蓋斯帕克氣體研究院從多年的特氣項目施工和管理經(jīng)驗中，結(jié)合GB-50646-2011總結(jié)出以下特氣設備的布置要素供用戶參考：

　　特種氣體設備的布置方式

　　1、不相容GR應布置在不同房間里，當由于條件所限布置在同一房間時，GR之間的距離應大于6M。

　　2、同時具有可燃性和毒性的氣體設備應該放置在可燃性氣體間。

　　3、GR、GC、Scrubber等設備宜靠墻布置，具有相同性質(zhì)的設備應該布置在一起。

　　4、特種氣體房間內(nèi)的中間通道寬度不得小于2M。

　　5、GC與墻體之間的距離宜大于0.1M，GC之間距離宜大于0.1M。

　　6、各類設備布置應該預留維修和運轉(zhuǎn)空間。

　　7、長管拖車、ISO標準集裝瓶組等大型設備宜放置在室外空曠平地。