大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)設(shè)計(jì)

　　大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)是電子工業(yè)控制氣體純度的新方法，在控制純度的同時(shí)也提高了供氣安全。大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)設(shè)計(jì)有很多注意的地方，這里介紹一些。

　　引言：

　　隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)換代，產(chǎn)品制造尺寸越來(lái)越大，產(chǎn)品成品率和缺陷控制越來(lái)越嚴(yán)格，整個(gè)電子工業(yè)界對(duì)電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來(lái)越苛刻?；旧瞎I(yè)界對(duì)電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的zui低檢測(cè)極限(LDL)相關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可測(cè)到0.1微米，而核凝結(jié)技術(shù)(CNC)可達(dá)到0.01微米。由此帶來(lái)的影響便是大宗氣體的純度要求也越來(lái)越高，從氣源端直接控制是zui好的方法。

　　關(guān)鍵詞：

　　大宗氣體，儲(chǔ)存，系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)設(shè)計(jì)參考

　　1、應(yīng)該設(shè)置獨(dú)立的氣(液)瓶、儲(chǔ)罐或長(zhǎng)管拖車(chē)及其壓力指示或鋼瓶稱(chēng)重裝置、鏈接回形管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜等裝置;

　　2、大宗特種氣體系統(tǒng)的功能配備應(yīng)該和特氣系統(tǒng)管路一致;

　　3、液態(tài)氣瓶的大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)鋼瓶加熱與保溫裝置;

　　4、大宗特種氣體應(yīng)在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱。

　　結(jié)語(yǔ)：

　　大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)的應(yīng)用受益于污染控制的進(jìn)步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續(xù)性，降低了屢次充裝的污染風(fēng)險(xiǎn)，其次在氣站建設(shè)時(shí)候做好每個(gè)獨(dú)立單元模塊的功能架構(gòu)，使得大宗氣體也可以保持最高的純度。另外，液態(tài)氣體使用前的預(yù)熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。